第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围

    “炉温到一百八十，别急着升。”
    伊万站在哈尔滨研发中心的炉门旁，手里夹着一块沾满树脂的玻璃片，脸上两天没刮的胡茬扎在灯光下，眼睛盯着记录表，没有去管身后谁在走动。
    陈守仁握着秒表。
    “第一组胶层已经排气，温度继续上升。”
    “继续。”
    高桥把一张曲线图推到他面前。
    “二百六十度后会起泡。”
    “你看过结果？”
    “我看过配方。”
    “配方不会说话，炉子才会。”
    “这一炉用的是松菱原料。”
    “你怀疑我的比例？”
    高桥把笔搁在桌边。
    “我怀疑溶剂。”
    方志远从控制台旁抬头。
    “二号传感器比三号低了七度，程序已经补偿。”
    伊万回头看他。
    “别补偿。”
    “温度会偏。”
    “传感器偏，炉温没偏，程序一补，胶层会提前失水。”
    “你确定？”
    “你要是不信，等它把晶圆烧黑。”
    陈守仁抬手。
    “停一秒，先把二号探头换掉。”
    “换探头会耽误升温。”
    “换探头能知道炉子究竟烧到哪儿。”
    伊万把玻璃片贴到灯下。
    “你们中国人做材料，胆子小。”
    陈守仁把工具箱拉到身边。
    “你们苏联人做实验，设备少。”
    “设备少，所以每一台都得听话。”
    “设备听不听话，取决于谁在操作。”
    高桥把手套摘下来，扔到桌上。
    “你们要吵出去吵，炉里的片子再撑三十秒就废。”
    李山河推门进来，手里带着一只搪瓷缸。
    “谁要吵？”
    陈守仁转身。
    “伊万说高桥配的溶剂会让胶层起泡。”
    高桥接话。
    “我说他的树脂比例太激进。”
    伊万指着炉门。
    “这批片子一旦开炉，先看胶层，别看你们的脸。”
    彪子跟在李山河身后，抱着两袋面包。
    “俺给你们送饭，谁饿了先吃，别把肚子饿坏了拿炉子撒气。”
    伊万接过面包，看了看包装。
    “里面是什么？”
    “列巴。”
    “我要二锅头。”
    “白天没有。”
    “那我不吃。”
    李山河把搪瓷缸放到他手边。
    “这是热水。”
    伊万抬眼。
    “你答应过每天一瓶。”
    “你昨天喝了两瓶。”
    “昨天是昨天。”
    “今天你把第一组跑完，晚上给你一瓶。”
    伊万指着炉子。
    “我要两瓶。”
    “合格一瓶，失败半瓶。”
    “你把酒当奖励？”
    “你把材料当命，我把酒当成本。”
    彪子咧嘴。
    “二叔，俺咋觉着你俩谈得挺投机。”
    李山河看了他一眼。
    “你去食堂，把孟老的药膳饮品送给夜班工人。”
    “俺也去看芯片。”
    “你看不懂。”
    “俺看它黑不黑，总能看懂。”
    “那你去看黑不黑。”
    彪子抱着面包走了，嘴里还在嘀咕。
    炉内曲线升到二百四十度，记录笔在纸上划出一条弯线，胶层边缘没有起泡，陈守仁把脸凑近观察窗。
    “边缘还在。”
    伊万伸手。
    “把样片取出来。”
    “还没到冷却阶段。”
    “取一片。”
    高桥用夹具取出样片，放在金属台上，伊万拿起放大镜，刮了一下胶层。
    “附着力不够。”
    陈守仁接过样片。
    “线路没断。”
    “冷却后会裂。”
    高桥拿起玻璃片折了折。
    “裂纹在边缘。”
    “那就是溶剂挥发太快。”
    “你刚才还说溶剂没问题。”
    “我现在改主意了。”
    陈守仁把样片递给方志远。
    “记录，第一组失败，树脂合格，溶剂比例需要调整。”
    伊万看向他。
    “你说失败？”
    “裂了就是失败。”
    “线路还通着。”
    “芯片要在设备里跑半年，不是让你拿着样片看半天。”
    伊万把玻璃片放下。
    “再做。”
    “材料只够三组。”
    “那就做三组。”
    李山河接过记录表。
    “材料不够，我已经让宋子文从港岛调一批树脂。”
    高桥抬头。
    “日本供应商不会发货。”
    “没让日本人发。”
    “从哪里来？”
    “乌法。”
    伊万拿过电报纸。
    “乌法的军用涂层研究所？”
    “谢尔盖耶夫已经把人叫起来了，材料今晚发车。”
    “他们没有做过光刻胶。”
    “他们做过高温涂层。”
    “用途不同。”
    “所以才让你们三个一起做。”
    陈守仁看着李山河。
    “李总，半个月够吗？”
    “你要多久？”
    “如果材料稳定，三天能出小样，十天能跑封装，半个月能知道能不能量产。”
    “那就半个月。”
    高桥皱着眉。
    “我们每天只睡四个小时。”
    “你们每天睡六个小时，剩下时间炉子也不能停。”
    伊万抓起记录表。
    “我睡三个小时。”
    陈守仁抬头。
    “没人要求你学牲口。”
    “牲口不用做实验。”
    “人也不能一直不睡。”
    李山河敲了敲桌面。
    “每十二小时换班，谁擅自熬夜，第二天停工。”
    伊万把表格揉成一团。
    “我不接受。”
    “那你回北风三号。”
    “你赶我？”
    “哈尔滨有规矩。”
    “规矩会让材料变好吗？”
    “规矩能让你活着看到材料变好。”
    伊万望着他。
    “你和那些官员不一样。”
    “少夸我。”
    “我没夸你，我在判断。”
    “判断完了就去改配方。”
    第一周过去，三组材料全部失败。
    第一组冷却后裂纹密布，第二组升温时起泡，第三组附着力合格，线路却在二百九十度时断开。
    陈守仁把检测报告拍在桌上。
    “胶层能撑，线路撑不住，载体材料膨胀系数不匹配。”
    高桥接过报告。
    “问题回到晶圆底材。”
    伊万把一只螺丝拧进反应釜外壳。
    “把树脂再改硬，胶层会更脆。”
    方志远在黑板上写下几组温度数值。
    “控制程序可以把升温分成六段，降低热冲击。”
    “程序能调热，调不了材料。”
    “材料能改，程序也得跟上。”
    “你们中国人总想把所有问题塞进程序。”
    方志远转身看他。
    “程序至少不会把同一批材料烧三次。”
    伊万抬手把扳手砸在桌面上。
    啪！
    房间里的人都停了手。
    李山河从门口走进来，捡起扳手放回桌上。
    “谁砸坏东西，谁赔。”
    伊万盯着他。
    “他们不懂材料。”
    “你也不懂控制程序。”
    “我懂炉子。”
    “炉子听谁的？”
    伊万没有回答。
    李山河把三张检测报告摊开。
    “你们继续吵，外面的人就会继续等，富士通等着我们缺芯片，东亚化成等着我们回头求他们，山河通信的订单等着交货。”
    陈守仁拿起第三组样片。
    “我建议换底材。”
    高桥摇头。
    “现有晶圆不能换，KM155的基底尺寸已经定了。”
    方志远盯着曲线。
    “那就换封装温度，先让芯片避开最高温段。”
    伊万拿起一块废片。
    “避开高温，材料永远过不了高温测试。”
    李山河看向他。
    “你有办法？”
    “把底材表面做一层过渡膜。”
    高桥立即问。
    “用什么？”
    “军用涂层里的硅氧烷。”
    陈守仁皱眉。
    “会影响线路刻蚀。”
    “先薄涂，再做等离子清洗。”
    方志远接话。
    “程序增加预热停留，给过渡膜释放时间。”
    高桥拿起笔。
    “我去改电源曲线。”
    陈守仁抱起样片。
    “我去重做底材。”
    方志远转身打开控制柜。
    “我改程序。”
    李山河看向伊万。
    “你呢？”
    “我要一瓶酒。”
    “干完活给你。”
    “现在要。”
    “先干活。”
    伊万抄起白大褂披在身上。
    “那就两瓶。”
    半个月里的第十三天，第四炉从清晨烧到夜里。
    炉温升到三百度，记录笔贴着纸面移动，曲线没有乱跳，观察窗里的晶圆边缘保持平整。
    陈守仁盯着检测屏。
    “线路还在。”
    高桥把手搭在电源柜上。
    “电流稳定。”
    方志远盯着程序界面。
    “温度补偿没有介入。”
    伊万拿着夹具守在炉门旁。
    “继续升温。”
    陈守仁抬头。
    “三百二十度已经超过测试上限。”
    “继续。”
    李山河站在记录台边。
    “升。”
    炉温数字一路跳到三百四十，晶圆表面泛出细白的光，胶层没有起泡，边缘也没有卷曲。
    高桥把手里的笔放下。
    “可以开炉了。”
    伊万摇头。
    “再等五分钟。”
    “你想把它烧坏？”
    “我想知道它能撑多久。”
    陈守仁盯着他。
    “材料测试要按流程来。”
    “流程是人定的。”
    “结果也得让人认。”
    李山河抬手。
    “再等五分钟。”
    伊万看了他一眼，回头盯住炉内。
    五分钟后，电源切断，炉门拉开，热气冲过走廊，陈守仁用夹具取出晶圆，边缘完整，表面没有裂纹。
    方志远把晶圆放进测试座。
    灯光亮起，第一组线路导通，第二组线路导通，整片芯片的逻辑信号沿着测试板跑了一圈。
    滴，滴，滴。
    高桥抓住记录纸。
    “数据稳定。”
    陈守仁把测试针移到另一组触点。
    “再测一遍。”
    “已经测了三遍。”
    “再测。”
    第三遍结果没有变化。
    伊万伸手拿过检测表，从头读到尾，抬起头时，眼里的疲倦压不住了。
    “这只是小样。”
    “可它活着。”
    “还要做大样。”
    李山河从桌下拎出两瓶二锅头，放到他面前。
    “你的酒。”
    伊万抱起酒瓶，没有立刻打开。
    “配方署名怎么写？”
    “中方负责工艺统筹，苏方负责树脂体系，日方负责电源和设备适配。”
    “我的名字排第二？”
    “你想排第一？”
    伊万把瓶盖拧开。
    “我排第二。”
    高桥伸手拿起另一瓶。
    “我也要一杯。”
    伊万看向他。
    “你会喝？”
    “我喝过威士忌。”
    “那不算酒。”
    陈守仁把搪瓷缸推过去。
    “先把这一炉数据写完，晚上再喝。”
    伊万接过缸子。
    “陈，你像个管教犯人的老头。”
    “你像个拆房子的野人。”
    方志远在旁边笑出声。
    高桥也把嘴角抬了起来。
    李山河拿起那片合格晶圆，放进透明盒。
    “这批材料命名为山河一号光刻胶，马上做三班连续测试，陈守仁负责量产参数，高桥负责电源和设备改造，方志远负责封装控制程序，伊万负责配方。”
    “我要自己的实验间。”
    “给你。”
    “门要能锁。”
    “给你。”
    “钥匙只能有两把。”
    “你一把，我一把。”
    “第三把呢？”
    “陈守仁保管。”
    伊万看着他。
    “你不信我？”
    “我信你会把实验室烧了。”
    伊万喝了一口酒。
    “那你还让我来？”
    “因为你能把它做出来。”
    研发楼外，韩建国抱着一摞文件跑进来。
    “李总，刚收到的电报。”
    “说什么？”
    “东亚化成停止供应，富士通向邮电部递交了新的投诉，指山河通信使用了未经授权的封装工艺。”
    李山河接过电报，看完递给陈守仁。
    “他们动作倒快。”
    伊万把酒瓶放到桌上。
    “日本人要来抢配方？”
    “他们会先告我们，再买我们，最后想办法让我们买不到设备。”
    “那就把配方卖给他们。”
    高桥脸色变了。
    “你疯了？”
    伊万抬头。
    “卖一份给他们，换十份原料。”
    李山河看着他。
    “山河一号不卖。”
    伊万举起酒瓶。
    “那就让他们看着我们做第二号。”